Neseniai Kinijos mokslų akademijos mikrosistemų ir informacinių technologijų institutas Šanchajaus institutas sukūrė aukštos kokybės MEMS, greitai atspindinčius veidrodį su integruotais kampo jutikliais .. Veidrodis turi didelį dydį, mažą pakuotės tūrį, puikų našumą ir didelį potencialą lazerio palydoviniuose komunikacijose .}.
Greitai atspindintis veidrodis užtruko beveik penkerius metus, kad būtų sukurtas ., jis priima dvigubo sluoksnio heterogeninę integraciją ir vaflių lygio surišimo technologiją, o jo tūris yra tik 1-} juanijos monetos . dydis
Tai įveikia tradicinių mechaninių greitai atspindinčių veidrodžių ir originalių MEMS greitai atspindinčių veidrodžių technines kliūtis, sukuriant erdvės lygio produktą, kurio tikslumas yra μRAD, atitinkantis ypač aukšto našumo rodiklius, kurių palydovais platinamos programos .}
Įkvėpta mobiliojo telefono ekrano, komanda naudojo silicio pjezorezijos deformacijos principą, norėdama integruoti lusto kampo jutiklius, o per struktūrines naujoves jautrumas padidėjo 63%, optimizuojant pluošto valdymo tikslumą .
Tyrimo rezultatai rodo, kad tam tikru dažniu kampo tikslumas atitinka standartą, o maksimali dinaminė paviršiaus deformacija yra tik 2 nanometrai .
Pareigūnas sudarė analogiją, lygiaverčiai visiems pakilimams ir nuosmukiams, kurių veidrodyje yra futbolo aikštės dydis, neviršijantis plaukų skersmens, tenkindami griežtus ilgalaikių palydovų lazerio ryšių ant veidrodinio paviršiaus . reikalavimus.
