1｜Diskusija apie aliuminio oksidą ir jo taikymą Aliuminio oksido keramika dėl savo izoliacijos, didelio atsparumo temperatūrai, atsparumo dilimui, atsparumo korozijai ir didelio cheminio stabilumo yra plačiai naudojama tokiose srityse kaip puslaidininkiai, nauja energija ir aukščiausios klasės elektronika. Visų pirma, aliuminio oksido keramika gali gerai prisitaikyti prie ekstremalios aplinkos, tokios kaip vakuumas ir aukšta temperatūra, todėl ji tinkama kaip žaliava puslaidininkinės įrangos proceso komponentams. Vien turėti puikių medžiagų toli gražu nepakanka; šioms medžiagoms taip pat reikalingi puikūs apdorojimo būdai aukščiausios klasės{5}}įrangoje arba procesuose, kad būtų galima visiškai išnaudoti jų savybes ir pasiekti didesnių tikslios gamybos laimėjimų. Pavyzdžiui, puslaidininkinėje įrangoje naudojamiems dujų purkštukams reikalingas stiprus atsparumas korozijai, paprastai pasiekiamas naudojant aliuminio oksido keramikos medžiagas. Kad purkštukas galėtų pasiekti optimalų valdymo našumą, reikalinga tiksli mikro-angų apdorojimo technologija, kad būtų sukurta gera mikro-skylių struktūra, leidžianti tiksliai valdyti dujų / skysčio srauto greitį ir tūrį. Todėl ryšys tarp aliuminio oksido ir gerų apdorojimo metodų vienas kitą stiprina.
2｜ Aliuminio oksido mikroporų apdorojimo aptarimas Keramikos apdirbimas visada buvo iššūkis. Pirma, tai kieta ir trapi medžiaga; naudojant tradicinius mechaninius gręžimo metodus lengvai susidaro mikro-įtrūkimai ir įtrūkimai, todėl sunku užtikrinti derlių. Antra, tai izoliacinė medžiaga ir nelaidi-, todėl negalima naudoti didelio-tikslumo elektros iškrovos apdirbimo. Prieš atsirandant femtosekundiniams lazeriams, pasiekti aukšto-tikslumo ir aukštos kokybės{8}} aliuminio oksido keramikos mikroporų apdorojimo buvo sudėtinga užduotis. Tai reiškia, kaip galima įvertinti aukštą tikslumą ir aukštą kokybę? Kitaip tariant, kaip įvertinti, ar mikroporų apdorojimo rodikliai yra geri ar blogi? Manau, kad yra du aspektai: mikroporų dydis ir mikroporų morfologija.
1. Mikroporos dydis apima: skylės skersmenį ir jos tikslumą, apvalumą, smailėjimą ir tt Šie trys rodikliai pirmiausia atspindi trijų matmenų mikroporų dydį, o tikslumas parodo idealios vertės ir faktinės vertės, pasiekiamos naudojant apdorojimo technologiją, nuokrypį.
2. Mikroporų morfologija apima: paviršiaus morfologiją ir šoninės sienelės morfologiją. Šie du rodikliai daugiausia tiria, ar angos įėjimas ir vidinė siena yra išlydėjusio sluoksnio, įskilimų, purslų, įtrūkimų ar paviršiaus lygumo. Šie indikatoriai turi įtakos šviesos spindulių, dujų ir skysčių prasiskverbimui, taip pat turi įtakos gaminio patikimumui ir tarnavimo laikui.
3｜Femtosekundinio aliuminio oksido apdorojimo lazeriu aptarimas Femtosekundinis lazeris, kaip pažangiausia-mikroskylių apdorojimo technologija, turi reikšmingų aliuminio oksido apdorojimo pranašumų. Dėl itin-trumpo impulso pločio ir itin didelės didžiausios galios jis gali pašalinti bet kokią kietą medžiagą, nepraeidamas išlydytos būsenos. Kartu su smulkiu mikrometrinio{5}skatalo graviravimu mikroskylės yra labai tikslios ir puikiai apvalios. Be to, šaltas femtosekundinių lazerių apdorojimas neleidžia susidaryti perliejimo sluoksniams, mikroįtrūkimams ant aliuminio oksido paviršiaus ar vidinių sienelių, medžiaga nepagelsta ar nepajuoduoja. Kitaip tariant, nepaisant apdorojimo metodo ar aliuminio oksido keramikos sudėties santykio, femtosekundžių lazeriai gali pasiekti itin -didelio tikslumo, aukštos{9} kokybės mikroskylių apdorojimą. Šiuo metu femtosekundiniai lazeriai gali apdoroti mikroskyles, kurių minimalus skersmuo yra 0,02 mm (storis 0,2 mm), o tikslumas – ±1 μm. Ar žinote kokių nors kitų technologijų, kurios gali pasiekti tokį mikroskylių apdorojimą?
